離子滲氮爐由爐體、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、溫度及真空度測量系統(tǒng)等部分組成。對于多爐體或組合生產(chǎn)線，還有電源切換系統(tǒng)或機械移動結(jié)構(gòu)。多爐體設(shè)備是一套電源控制系統(tǒng)和兩套爐體形成“一拖二”設(shè)備，在第一臺爐內(nèi)進行滲氮的時候，對第二臺爐進行裝爐；當?shù)谝慌_爐離子滲氮結(jié)束進行冷卻時，將電源切換到第二臺爐進行離子滲氮。這樣兩套爐體交替處理，輪流冷卻，可以縮短生產(chǎn)周期。

    操作方法：

    1.滲氮前的模具必須是先經(jīng)過正火或調(diào)質(zhì)處理過的工件。

    2.先用汽油和酒精擦洗工件表面，不得有銹斑、油污、臟物存在。

    3.裝入爐內(nèi)后，對稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。

    4.將爐罐和爐蓋進水口通入冷卻水進行循環(huán)水冷。爐蓋上管道冷卻水下端為進水，上端為出水，爐罐單獨進水，單獨排水，爐蓋所有水管可按低進高出原則串聯(lián)，由一個口進水，一個口排水。

    5.升溫前應(yīng)先送氮氣排氣，排氣時流量應(yīng)比使用時大一倍以上。

   離子氮化時，因工作的溫度直接影響氮化層質(zhì)量和氮化周期。且由于高電壓、輝光和氣氛等因素的影響，給溫度測量造成困難。現(xiàn)階段用于離子氮化爐的測溫方法下面幾種： 

  （1）目測法測量

    關(guān)閉高壓電源，通過觀察窗，用肉眼看工件的顏色來判斷溫度（在黑暗的爐罩內(nèi)，金屬在520℃左右呈微紅，550℃左右為暗紅）。顯然，這種方法因人而異，溫差可能很大，氮化質(zhì)量受控條件差。

  （2）熱電偶測溫

    此法通常使用鎧裝熱電偶做成一種特殊的測溫探頭，緊貼在工件上，通過顯示儀表測量和控制氮化溫度。

    為避免熱電偶帶負高電壓，通常在熱電偶頭部與工件之間隔有云母片或石英管等絕緣物，但這樣會使溫度示值偏低，滲氮多用爐且經(jīng)長期工作后，由于陰極濺射效應(yīng)，絕緣物表面沾染上金屬粉末而成為導(dǎo)體。使熱電偶仍會帶上負高壓電而被氮化，示值誤差增大。有時因絕緣物與工件接觸不良，會使輝光放電失穩(wěn)，引起打弧，影響正常工作。

    氨分解率

　　1 分解率為20 一40 ％時活性氮原子多，零件表面可大量吸收氮

　　2 分解率超過60 ％則氣氛中的氫含量高達52％以上，將產(chǎn)生脫氮作用，此時不僅活性氮原子數(shù)量減小，而且大量氫分子和氮分子停滯于零件表面附近，使氮原子不易為表面所吸收，從而使零件表面含氮量降低，滲氮層深度也減薄。氮化前應(yīng)對加熱爐、氮化罐和整個氮化系統(tǒng)的管道接頭處進行氣密性檢查，保證氨氣不漏和在管路中的暢通無阻。